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エアベアリングバー 0.1mm厚ガラス対応の精密浮上搬送装置

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エアベアリングバー

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商標登録済

 

0.1mm厚ガラス対応の精密浮上搬送装置

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多孔質カーボンを使用

●消費空気量が少ない :多孔質絞りによって高効率を達成し、空気の消費を抑えています。
●帯電しにくい :カーボンは良導電体です。
●発塵しにくい :骨格強度に優れる多孔質体を透過する流体はクリーンです。
●自己潤滑性 :万が一の接触にも、ワークを傷つけません。

独自の非接触技術

●隙間調整 :給気圧力と吸引圧力の組み合わせで、隙間の調整が可能です。
●高精度 :浮上隙間は搬送面に対して均一です。ワークは高精度な平面で支持されます。
●省エネ :吸引孔の最適化で、わずかな負圧で予圧がかかります。

高い基本特性

●安定した浮上特性 :ワークを支持する流体膜の安定性は、気体軸受そのものです。
●低応力 :ワーク全面を流体膜で均一に支持します。ワークにストレスを与えません。
●強い把持力 :非接触でありながら、真空吸着盤に匹敵する把持力を発揮します。

 

 


ノンコンタクトチャッキング技術が
極薄ガラスの浮上搬送をアシストします

極薄ガラスのたわみを解消し、乗り移りを可能にします
たわんだガラスでも、矯正しつつ高精度に非接触で把持します

 

浮上のしくみ
エアベアリングバーは、カーボン製多孔質体を利用した気体軸受技術を基礎とします。供給された圧力は、多孔質体全体に行き渡り、搬送面全体から一様に流出します。ワークは搬送面から微少隙間を持って浮上し、流体潤滑状態となります。流体膜によって偏荷重なく均一に支持されます。

乗り移りのしくみ
当社独自の予圧効果(NCC)によって、ワークの乗り移りをスムーズにします。
吸引孔がガラス基板を引き寄せることで、流体膜の剛性が高まり、乗り移り時のワークのたわみを抑えます。

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高精度のしくみ
ノンコンタクトチャッキングは、0.1mm厚みのガラスでも、精密に非接触吸着が可能です。
負圧で予圧をかけることで高さ方向の変位や振動を起こりにくくし、一定の隙間を保ちつつ搬送面へ倣わせ、精密平面を形成します。たわみをもったガラスでも、矯正して平面を確保します。

 non_contact_chucking_graph01mm非接触吸着状態にある0.1mmガラスの輪郭形状 (0.05MPa)

 

 


各製品へジャンプします

エアベアリングバー

エアベアリングバーマスター

ノンコンタクトチャッキング

ノンコンタクトチャッキングマスター


エアベアリングバー

●浮上搬送用

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エアベアリングバー仕様

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給気圧力と消費空気量

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エアベアリングバー寸法図

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エアベアリングバー・マスター

●浮上搬送用(NCC機能付)

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エアベアリングバー・マスター仕様

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エアベアリングバー・マスター寸法図

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 ノンコンタクトチャッキング

●非接触把持用

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ノンコンタクトチャッキング仕様

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ノンコンタクトチャッキング寸法図

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 ノンコンタクトチャッキング・マスター

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ノンコンタクトチャッキング・マスター仕様

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non_contact_chucking_master_specifications06

 

 

 ノンコンタクトチャッキング・マスター寸法図

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●発塵量

エアベアリングバーに使用する多孔質カーボンは、安定した多孔質炭素材料であるため、発塵量は極微量です。炭素粒界の結合度が高く、透過する空気との摩擦で粒子が脱落することはありません。素材から部品、完成品に至るまでの製造過程で洗浄を行い、パーティクルを効果的に除去していることも理由です。

パーティクル実験の実験条件と実験結果を以下に示します。
・使用モデル:PC4E-1000
・試験装置 :密閉型発塵量試験装置(図.参照)
・測定機  :光散乱式粒子計数器
・圧力   :約0.2MPa
・時間   :120分
・可測粒子径:0.1μm以上
・測定風量 :28.3L/min
・評価方法 :1分あたりの各粒径パーティクル数を評価
・備考   :真空孔からの真空引きは未使用

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●静電気変化量

エアベアリングバー、ノンコンタクトチャッキング上で、浮上状態にあるガラスの静電気量を測定しました。いずれの試験でも、帯電したガラスをカーボン表面で浮上させると、静電気量が低減しました。

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フラットパネル 浮上搬送実験装置 

極薄ガラス基板の浮上状態を観察する実験装置を、常設しています。浮上特性と吸着精度は、ガラスの物性、エアベアリングバーの配置、給気・吸引圧力の組み合わせによって変化します。レーザー変位センサーでガラスの輪郭を測定することで、ガラスのたわみと諸条件との関係を明確にします。

※浮上搬送実験装置のより詳細な紹介は下記リンクにございます。

フラットパネル 浮上搬送実験装置 

 


 

使用上の注意

・非接触状態にあるワークは、摩擦がありません。水平方向に動きます。ワークの位置決め、保持のために、何らかのガイドを設ける必要があります。
・搬送面が同一面かつ水平になるように、アライメント調整が必要です。
・多孔質カーボンの目詰まりを防止するために、クリーンエアーを供給してください。
・多孔質カーボン部への水、粉、油等の付着は厳禁です。
・本製品の平面度は、23℃±2℃での保証値となります。
・極度な温度環境に曝されると、平面精度の低下や破損の原因となります。本製品を輸送する場合は温度管理にご注意願います。塵埃のない水のかからない直射日光の当たらない場所に設置してください。

 


 

カタログ(PDF)は、下記からダウンロード出来ます。

エアベアリングバー カタログ

 

本カタログに示される製品仕様、実験データは一例です。
お客様のご要望に合わせた非接触搬送装置の開発も承ります。
是非お問合せください。
製品の仕様は、予告無く変更する場合がございます。
ご了承ください。

お気軽にお問い合せください。 TEL 03-3750-2152

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