◯浮上製品
フラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、壊れやすい板状部材を、浮上させて非接触搬送します。独自の予圧機構で、極薄ガラスもたわみません。
◯精密浮上製品
フラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、たわみやすい板状部材を、精密平面に矯正して浮上させ、非接触搬送します。浮上精度は5μmです。
◯吸着製品
ガラス基板を、多孔質体で全面吸着固定します。ガラス基板に応力を与えず、吸着痕も付きません。静電気対策、ハレーション対策に効果があります。
◯実験装置
浮上特性と吸着精度は、ガラス厚み、ガラスの物性、エアベアリングバーの配置、給気・吸引圧力の組み合わせによって変化します。レーザー変位センサーでガラスの輪郭を測定することで、ガラスのたわみと諸条件との関係を明確にします。