極薄ガラスのための
フラットパネル 浮上搬送実験装置
浮上搬送の条件出しをサポート
・極薄ガラスの浮上隙間を測定します
・エアベアリングバー上で非接触状態にあるガラスの浮上特性を把握できます
・ノンコンタクトチャッキングの吸着精度を観察できます
・乗り移り間隔が可変します
極薄ガラス基板の浮上状態を観察して
条件出しをサポートします
浮上搬送の条件出しをサポートします
浮上特性と吸着精度は、ガラス厚み、ガラスの物性、エアベアリングバーの配置、給気･吸引圧力の組み合わせによって変化します。
レーザー変位センサーでガラスの輪郭を測定することで、ガラスのたわみと諸条件との関係を明確にします。
浮上搬送の条件出しをサポートします。
製品選定とレイアウトを最適化します
乗り移り間隔が可変式です。ガラスが案内面を乗り移る長さの影響を比較できます。
跨ぎ間隔が可変式です。ガラスが案内面を跨ぐ長さの影響を比較できます。
ガラスは、0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.7mm 厚みを用意しています。ガラスの持込にも対応いたします。
最適な製品選定とレイアウトの参考になることを期待します。
静止時･搬送時の振動測定、電位測定なども行えます。
実験装置 動画
実際の実験シーンをご覧頂けます。
実験装置 概要
| 装置寸法 | 1800mm×1000mm |
|---|---|
| 搬送面長さ | 1500mm |
| 搬送面幅 | 530mm |
| ガラス寸法 | 370mm×470mm |
| ガラス厚み | 0.1、0.2、0.3、0.4、0.7mm |
| エアベアリングバー使用数 | 10 本(500L) |
| ノンコンタクト チャッキング 使用数 | 14 本 |
| 乗り移り長さ(ノンコンタクトチャッキング – ノンコンタクトチャッキング) | 10～30mm(可変式) |
| 乗り移り長さ(エアベアリングバー – ノンコンタクトチャッキング) | 10～20mm(可変式) |
| 跨ぎ長さ(ノンコンタクト チャッキング) | 0～80mm(可変式) |
| 跨ぎ長さ(エアベアリングバー) | 22～300mm(可変式) |
| ガラス把持方法 | 真空吸着盤(ポーラスカーボンパッド Φ50mm×2 ヶ) |
| ガラス駆動方法 | ロボシリンダ(IAI 社製) |
| ガラス搬送長さ(X 軸) | 1000mm |
| ガラス搬送速度 | 600mm/sec |
| ビーム長さ | 1000mm |
| ビーム軸受 | 静圧気体軸受(ポーラスカーボンパッド Φ80mm×4 ヶ) |
| 変位測定器 | レーザー変位センサー |
| 変位測定範囲 | ±0.5mm |
| 変位測定長さ(Y 軸) | 600mm |
危険性のある実験はご遠慮ください。
必要なガラス・治具・測定器等はご持参願います。
実験費は内容によりご相談とさせていただきます。
※詳細は担当営業までお問い合わせください。
フラットパネル実験装置 略図
装置概要
乗り移り 跨ぎ レーザー変位センサー
<参考データ>
グラフ1．精密区域 乗り移り 0.2mmガラス グラフ2．搬送区域 跨ぎ 0.2mmガラス
給気0.1MPa 吸引－5kPa 給気0.1MPa 吸引－5kPa
極薄ガラスのたわみを解消し、乗り移りを可能にします
たわんだガラスも、矯正しつつ高精度に非接触で把持します
使用上の注意
・搬送面が同一面かつ水平になるように、アライメント調整が必要です。
・多孔質カーボンの目詰まりを防止するために、クリーンエアーを供給してください。
・多孔質カーボン部への水、粉、油等の付着は厳禁です。
・本製品の平面度は、23℃±2℃での保証値となります。
・極度な温度環境に曝されると、平面精度の低下や破損の原因となります。本製品を輸送する場合は温度管理にご注意願います。
・非接触状態にあるガラスは、摩擦がありません。水平方向に動きます。ガラスの位置決め、保持のために、何らかのガイドを設ける必要があります。
