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フラットパネル

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 ◯浮上製品

エアベアリングバー

フラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、壊れやすい板状部材を、浮上させて非接触搬送します。独自の予圧機構で、極薄ガラスもたわみません。

 

 

 ◯精密浮上製品

ノンコンタクトチャッキング_サムネイル_浮上製品ノンコンタクトチャッキング

フラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、たわみやすい板状部材を、精密平面に矯正して浮上させ、非接触搬送します。浮上精度は5μmです。

 


 

 ◯吸着製品

カーボン製 大型吸着盤 小

カーボン製 大型吸着盤

ガラス基板を、多孔質体で全面吸着固定します。ガラス基板に応力を与えず、吸着痕も付きません。静電気対策、ハレーション対策に効果があります。

 

 


 

◯実験装置

実験装置 画像斜め_150

フラットパネル 浮上搬送実験装置

浮上特性と吸着精度は、ガラス厚み、ガラスの物性、エアベアリングバーの配置、給気・吸引圧力の組み合わせによって変化します。レーザー変位センサーでガラスの輪郭を測定することで、ガラスのたわみと諸条件との関係を明確にします。

 

 

 

 

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