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フラットパネル 浮上搬送実験装置

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極薄ガラスのための
フラットパネル 浮上搬送実験装置

製品キャッチフレーズ青緑 実験装置

実験装置 画像斜め

浮上搬送の条件出しをサポート

・極薄ガラスの浮上隙間を測定します
・エアベアリングバー上で非接触状態にあるガラスの浮上特性を把握できます
・ノンコンタクトチャッキングの吸着精度を観察できます
・乗り移り間隔が可変します

 


 

極薄ガラス基板の浮上状態を観察して
条件出しをサポートします

 

浮上搬送の条件出しをサポートします

浮上特性と吸着精度は、ガラス厚み、ガラスの物性、エアベアリングバーの配置、給気・吸引圧力の組み合わせによって変化します。
レーザー変位センサーでガラスの輪郭を測定することで、ガラスのたわみと諸条件との関係を明確にします。
浮上搬送の条件出しをサポートします。

 

製品選定とレイアウトを最適化します

乗り移り間隔が可変式です。ガラスが案内面を乗り移る長さの影響を比較できます。
跨ぎ間隔が可変式です。ガラスが案内面を跨ぐ長さの影響を比較できます。
ガラスは、0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.7mm 厚みを用意しています。ガラスの持込にも対応いたします。
最適な製品選定とレイアウトの参考になることを期待します。

静止時・搬送時の振動測定、電位測定なども行えます。

 


 

実験装置 動画

実際の実験シーンをご覧頂けます。

 


 

実験装置 概要

装置寸法  1800mm×1000mm
搬送面長さ  1500mm
搬送面幅  530mm
ガラス寸法  370mm×470mm
ガラス厚み  0.1、0.2、0.3、0.4、0.7mm
エアベアリングバー使用数 10 本(500L)
ノンコンタクト チャッキング 使用数 14 本
乗り移り長さ(ノンコンタクトチャッキング – ノンコンタクトチャッキング)  10~30mm(可変式)
乗り移り長さ(エアベアリングバー – ノンコンタクトチャッキング)  10~20mm(可変式)
跨ぎ長さ(ノンコンタクト チャッキング)  0~80mm(可変式)
跨ぎ長さ(エアベアリングバー)  22~300mm(可変式)
ガラス把持方法  真空吸着盤(ポーラスカーボンパッド Φ50mm×2 ヶ)
ガラス駆動方法  ロボシリンダ(IAI 社製)
ガラス搬送長さ(X 軸)  1000mm
ガラス搬送速度  600mm/sec
ビーム長さ  1000mm
ビーム軸受  静圧気体軸受(ポーラスカーボンパッド Φ80mm×4 ヶ)
変位測定器  レーザー変位センサー
変位測定範囲  ±0.5mm
変位測定長さ(Y 軸)  600mm

危険性のある実験はご遠慮ください。
必要なガラス・治具・測定器等はご持参願います。
実験費は内容によりご相談とさせていただきます。

※詳細は担当営業までお問い合わせください。

実験装置 画像正面

 

フラットパネル実験装置 略図 実験装置用

フラットパネル実験装置 略図

 

 装置概要

乗り移り 跨ぎ レーザー変位センサー 1200px

    乗り移り                       跨ぎ                    レーザー変位センサー

 

<参考データ>

実験装置グラフ1実験装置グラフ2

 

 

 

 

 

グラフ1.精密区域 乗り移り 0.2mmガラス        グラフ2.搬送区域 跨ぎ 0.2mmガラス
給気0.1MPa 吸引-5kPa              給気0.1MPa 吸引-5kPa

 

極薄ガラスのたわみを解消し、乗り移りを可能にします
たわんだガラスも、矯正しつつ高精度に非接触で把持します

 


 

 

使用上の注意

・搬送面が同一面かつ水平になるように、アライメント調整が必要です。
・多孔質カーボンの目詰まりを防止するために、クリーンエアーを供給してください。
・多孔質カーボン部への水、粉、油等の付着は厳禁です。
・本製品の平面度は、23℃±2℃での保証値となります。
・極度な温度環境に曝されると、平面精度の低下や破損の原因となります。本製品を輸送する場合は温度管理にご注意願います。
・非接触状態にあるガラスは、摩擦がありません。水平方向に動きます。ガラスの位置決め、保持のために、何らかのガイドを設ける必要があります。

 

 

お気軽にお問い合せください。 TEL 03-3750-2152

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