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カーボン製 精密吸着盤

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Φ450mm対応

カーボン製 精密吸着盤

カーボン製 精密吸着盤特許登録済

 

挿絵 300mm耐熱 精密吸着盤

 


 

オールカーボン吸着盤の概要

●多孔質カーボンの吸着体に、高強度カーボン製の構造体を組み合わせ、カーボン材料だけで構成された真空吸着盤です。
●シリコンウェーハや、BG テープ、ダイアタッチフィルム、ダイシングテープを、多孔質体により全面吸着します。
●平均気孔径が5μm と細かく、吸着痕の転写は起こりません。
●適度な絞り効果により部分吸着も可能です。
●厳しい温度環境下でも、変形・破損しません。
●電気的特性に優れるため、静電気対策に効果的です。

これらカーボンの特長を最大限に活用した、多孔質吸着盤です。

 


 

オールカーボン吸着盤の特長

●ウェーハ帯電防止

カーボンは優れた導電体です。
帯電しにくいため、ワークは吸着されることでアースされます。
静電気対策として有効で、静電気を嫌うワークの吸着に最適です。
コーティング(追加仕様)により、表面抵抗を所定の値に調整できます。

材質 多孔質カーボン アルミナ アルミニウム
電気抵抗値(μΩ・m) 100 > 1X1012 2.6 X 10-2

 

●高温環境に対応

全ての部品材質をカーボンにすることで、カーボンの優れた熱特性を最大限に引き出しました。
耐熱温度は、大気中では250℃、不活性ガス中では900℃です。
耐熱衝撃性が高く、急熱・急冷しても、破損しません。
同一材料で構成されているため、熱膨張差による精度変化が起こりにくく、寸法安定性に優れます。

 

●軽量化で機器への負担減少

多孔質カーボンのカサ密度は、1.2g/cm3と低密度です。
セラミック製吸着盤と比べて、約40%の重量軽減が可能です。
軽量化することで、装置設計の自由度が増すだけでなく、
部材の合理化により、装置の製造コストに対して更なるメリットをもたらします。

材質 多孔質カーボン アルミナ アルミニウム
カサ密度(g/cm3 1.2 3.6 2.8

 

オールカーボン吸着盤重量表
吸着面サイズ(mm) 吸着盤厚み(mm) 重量(g) 画像
Φ200 12 750 ★精密吸着盤200mm_500
Φ300 12 1580 ★精密吸着盤300mm_500
Φ450 20 5660 ★精密吸着盤450mm

 


 

 オールカーボン吸着盤の動画

●部分吸着偏

●重量測定偏

 


 

お困りではありませんか?

①スパークを防止し、ウェーハを保護

静電気によるスパークでお困りではありませんか?
静電気によるスパーク対策には、電荷を緩やかに低下させるスローリークが有効です。
スローリークは、表面抵抗が静電気拡散領域の105~109Ωで起こります。
オールカーボン吸着盤は、コーティングにより表面抵抗値を調整できます。
ウェーハの吸着や解放の際のスパーク発生を抑制し、ウェーハを保護し、装置の負担を軽減します。

測定の様子 精密吸着盤

②熱分布の均一性によって、製品を安定化

フィルム剥離でお困りではありませんか?
フィルムの剥離不良対策には、吸着盤の温度分布を均一にすることがポイントです。
剥離不良は、熱処理での温度ムラが原因で起こります。
オールカーボン吸着盤の表面温度差は、±2.5℃を確保。ウェーハ加熱装置の厳しい要求をクリアしています。
吸着盤の温度分布を均一にすることで、DAFテープの熱硬化も均一になり、フィルムの剥離不良を防止します。

温度分布 精密吸着盤 最終

 

③吸着痕を無くし、成膜精度を向上

スピンコーターの成膜不良でお困りではありませんか?
成膜ムラ対策には、多孔質体による全面吸着が有効です。
成膜ムラは、吸引孔にウェーハが吸い込まれてできる吸着痕が原因で起こります。特に極薄ウェーハで顕著です。
オールカーボン吸着盤は、吸着面を多孔質体で形成し、高精度な平面に仕上げることで、成膜精度を向上させます。耐薬品性に優れるため、環境を選びません。
スピナーヘッドの交換だけで、装置を高機能化できます。

スピナーヘッド  精密吸着盤

 

④サイズの兼用化で、乗せ換え作業の省力化

ウェーハサイズが複数あるために、段取り替えが生じていませんか?
マルチパッド化により、ウェーハサイズに応じて吸着面積を切替えられます。
ウェーハサイズが変わっても、1枚の吸着盤で兼用できます。
乗せ換えなしに、常に最適な吸着性能を発揮します。
吸着面積は、ご要望の大きさ、位置に対応します。

マルチパッド 精密吸着盤

 

 


 

導 入 事 例

①半導体製造(後工程) 装置別

●ウェーハ表面保護テープ貼り用吸着テーブル
●ウェーハ表面保護テープ剥し用吸着テーブル
●ウェーハ検査装置用吸着テーブル
●UV 照射装置の吸着テーブル
●ウェーハマウンタ装置のマテハン用真空チャッキング
●ウェーハ洗浄装置のスピナーヘッド
など

 

②半導体製造(後工程) 工程別

●TSV プロセス
●ダイシング工程
●バックグラインド工程

 


 

製 品 仕 様

製品仕様を示します。この他にも、各種加工に対応可能です。お客様との打合せにより形状を決定します。

材料 多孔質カーボン☓高強度カーボン 多孔質カーボン☓その他材質
使用圧力範囲  -0.1 MPa ~ 0.1 MPa  -0.1 MPa ~ 0.1 MPa
使用温度範囲  ~ 250℃  23℃ ± 2℃
製作可能寸法(吸着面) ~ Φ450 mm~ □350 mm ~ Φ450 mm~ □350 mm
製作可能寸法(厚み)  12 mm ~  15 mm ~(金属材質の場合)
平面度  10 μm ~  5 μm ~
コーティング  ◯  応相談
マルチパッド  ◯  ◯

 

 


 

追 加 仕 様

●コーティング

吸着面へのコーティングで、オールカーボン吸着盤の性能を更に高めます。
表面抵抗の調整、剥離性の向上、汚染の防止、などの機能を追加できます。
コーティング材には、樹脂系やガラス系などを用意しております。
お客様の仕様に合わせて、選定致します。

●マルチパッド

吸着面の切替え機能を追加できます。
吸着面を区切る位置、数を指定してください。

●ホルダ材質変更

ホルダをご指定の材質で製作可能です。
ホルダ材質は、高強度カーボン以外に金属、CFRP、樹脂等で製作可能です。
ご希望の材質に対応します。

※注意:ホルダの材質変更を行う場合は、吸着面がホルダ上面より凸になります。

 ホルダ材質指定 精密吸着盤

 


 

ご注文に際して

お問い合わせの際には、製品仕様とあわせて、下記の「設計シート」をご利用ください。
お見積もりや納期を回答させていただきます。

※画像を印刷して頂くか、下にPDF版のリンクがあります。

精密吸着盤 設計シート

カーボン製 精密吸着盤 設計シート(PDF版) 

 


 

材 料 特 性

吸着面に使用する多孔質カーボンの材料特性を示します。

多孔質カーボン特性表
  項目
機械的特性 カサ密度(g/cm3 1.2
ショア硬さ(HSD) 47
曲げ強度(N/mm2 21
ヤング率(kN/mm2 5.6
ポアソン比 0.3
電気抵抗率(μΩ・m) 100
熱的特性 熱膨張率(X10-6/K) 6.5
熱伝導率(W/m・K) 1.1
耐熱性(℃大気下) 300

 


 

使用上の注意

●ポーラスカーボンパッドは、清浄な環境でのご使用を推奨しております。
●油分や水分の付着する環境でのご使用は、その能力を発揮できなくなる場合があります。
●本製品の平面度は、23℃±2℃での保証値となります。
●お問い合わせ時には、使用環境をご指示ください。

 


 

カタログ(PDF)は、下記からダウンロード出来ます。

カーボン製 精密吸着板 カタログ

 


 

 

本カタログに示される製品仕様は、一例です。

お客様のご要望に合わせた仕様にて、承ります。

お問合せください。

お気軽にお問い合せください。 TEL 03-3750-2152

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