Φ450mm対応
カーボン製 精密吸着盤
特許登録済
オールカーボン吸着盤の概要
●多孔質カーボンの吸着体に、高強度カーボン製の構造体を組み合わせ、カーボン材料だけで構成された真空吸着盤です。
●シリコンウェーハや、BG テープ、ダイアタッチフィルム、ダイシングテープを、多孔質体により全面吸着します。
●平均気孔径が5μm と細かく、吸着痕の転写は起こりません。
●適度な絞り効果により部分吸着も可能です。
●厳しい温度環境下でも、変形･破損しません。
●電気的特性に優れるため、静電気対策に効果的です。
これらカーボンの特長を最大限に活用した、多孔質吸着盤です。
オールカーボン吸着盤の特長
●ウェーハ帯電防止
カーボンは優れた導電体です。
帯電しにくいため、ワークは吸着されることでアースされます。
静電気対策として有効で、静電気を嫌うワークの吸着に最適です。
コーティング（追加仕様）により、表面抵抗を所定の値に調整できます。
| 材質 | 多孔質カーボン | アルミナ | アルミニウム |
|---|---|---|---|
| 電気抵抗値（μΩ・m） | 100 | > 1X1012 | 2.6 X 10-2 |
●高温環境に対応
全ての部品材質をカーボンにすることで、カーボンの優れた熱特性を最大限に引き出しました。
耐熱温度は、大気中では250℃、不活性ガス中では900℃です。
耐熱衝撃性が高く、急熱･急冷しても、破損しません。
同一材料で構成されているため、熱膨張差による精度変化が起こりにくく、寸法安定性に優れます。
●軽量化で機器への負担減少
多孔質カーボンのカサ密度は、1.2g/cm3と低密度です。
セラミック製吸着盤と比べて、約40％の重量軽減が可能です。
軽量化することで、装置設計の自由度が増すだけでなく、
部材の合理化により、装置の製造コストに対して更なるメリットをもたらします。
| 材質 | 多孔質カーボン | アルミナ | アルミニウム |
|---|---|---|---|
| カサ密度（g/cm3） | 1.2 | 3.6 | 2.8 |
| 吸着面サイズ（mm） | 吸着盤厚み（mm） | 重量（g） | 画像 |
|---|---|---|---|
| Φ200 | 12 | 750 |  |
| Φ300 | 12 | 1580 |  |
| Φ450 | 20 | 5660 |  |
オールカーボン吸着盤の動画
●部分吸着偏
●重量測定偏
お困りではありませんか？
①スパークを防止し、ウェーハを保護
静電気によるスパークでお困りではありませんか？
静電気によるスパーク対策には、電荷を緩やかに低下させるスローリークが有効です。
スローリークは、表面抵抗が静電気拡散領域の10^5～10^9Ωで起こります。
オールカーボン吸着盤は、コーティングにより表面抵抗値を調整できます。
ウェーハの吸着や解放の際のスパーク発生を抑制し、ウェーハを保護し、装置の負担を軽減します。
②熱分布の均一性によって、製品を安定化
フィルム剥離でお困りではありませんか？
フィルムの剥離不良対策には、吸着盤の温度分布を均一にすることがポイントです。
剥離不良は、熱処理での温度ムラが原因で起こります。
オールカーボン吸着盤の表面温度差は、±2.5℃を確保。ウェーハ加熱装置の厳しい要求をクリアしています。
吸着盤の温度分布を均一にすることで、DAFテープの熱硬化も均一になり、フィルムの剥離不良を防止します。
③吸着痕を無くし、成膜精度を向上
スピンコーターの成膜不良でお困りではありませんか？
成膜ムラ対策には、多孔質体による全面吸着が有効です。
成膜ムラは、吸引孔にウェーハが吸い込まれてできる吸着痕が原因で起こります。特に極薄ウェーハで顕著です。
オールカーボン吸着盤は、吸着面を多孔質体で形成し、高精度な平面に仕上げることで、成膜精度を向上させます。耐薬品性に優れるため、環境を選びません。
スピナーヘッドの交換だけで、装置を高機能化できます。
④サイズの兼用化で、乗せ換え作業の省力化
ウェーハサイズが複数あるために、段取り替えが生じていませんか？
マルチパッド化により、ウェーハサイズに応じて吸着面積を切替えられます。
ウェーハサイズが変わっても、1枚の吸着盤で兼用できます。
乗せ換えなしに、常に最適な吸着性能を発揮します。
吸着面積は、ご要望の大きさ、位置に対応します。
導 入 事 例
①半導体製造（後工程） 装置別
●ウェーハ表面保護テープ貼り用吸着テーブル
●ウェーハ表面保護テープ剥し用吸着テーブル
●ウェーハ検査装置用吸着テーブル
●UV 照射装置の吸着テーブル
●ウェーハマウンタ装置のマテハン用真空チャッキング
●ウェーハ洗浄装置のスピナーヘッド
など
②半導体製造（後工程） 工程別
●TSV プロセス
●ダイシング工程
●バックグラインド工程
製 品 仕 様
製品仕様を示します。この他にも、各種加工に対応可能です。お客様との打合せにより形状を決定します。
| 材料 | 多孔質カーボン☓高強度カーボン | 多孔質カーボン☓その他材質 |
|---|---|---|
| 使用圧力範囲 | －0.1 MPa ～ 0.1 MPa | －0.1 MPa ～ 0.1 MPa |
| 使用温度範囲 | ～ 250℃ | 23℃ ± 2℃ |
| 製作可能寸法（吸着面） | ～ Φ450 mm～ □350 mm | ～ Φ450 mm～ □350 mm |
| 製作可能寸法（厚み） | 12 mm ～ | 15 mm ～（金属材質の場合） |
| 平面度 | 10 μm ～ | 5 μm ～ |
| コーティング | ◯ | 応相談 |
| マルチパッド | ◯ | ◯ |
追 加 仕 様
●コーティング
吸着面へのコーティングで、オールカーボン吸着盤の性能を更に高めます。
表面抵抗の調整、剥離性の向上、汚染の防止、などの機能を追加できます。
コーティング材には、樹脂系やガラス系などを用意しております。
お客様の仕様に合わせて、選定致します。
●マルチパッド
吸着面の切替え機能を追加できます。
吸着面を区切る位置、数を指定してください。
●ホルダ材質変更
ホルダをご指定の材質で製作可能です。
ホルダ材質は、高強度カーボン以外に金属、CFRP、樹脂等で製作可能です。
ご希望の材質に対応します。※注意：ホルダの材質変更を行う場合は、吸着面がホルダ上面より凸になります。
ご注文に際して
お問い合わせの際には、製品仕様とあわせて、下記の「設計シート」をご利用ください。
お見積もりや納期を回答させていただきます。
※画像を印刷して頂くか、下にPDF版のリンクがあります。
材 料 特 性
吸着面に使用する多孔質カーボンの材料特性を示します。
| 項目 | 値 | |
|---|---|---|
| 機械的特性 | カサ密度（g/cm3） | 1.2 |
| ショア硬さ（HSD） | 47 | |
| 曲げ強度（N/mm2） | 21 | |
| ヤング率（kN/mm2） | 5.6 | |
| ポアソン比 | 0.3 | |
| 電気抵抗率（μΩ・m） | 100 | |
| 熱的特性 | 熱膨張率（X10-6/K） | 6.5 |
| 熱伝導率（W/m・K） | 1.1 | |
| 耐熱性（℃大気下） | 300 |
使用上の注意
●ポーラスカーボンパッドは、清浄な環境でのご使用を推奨しております。
●油分や水分の付着する環境でのご使用は、その能力を発揮できなくなる場合があります。
●本製品の平面度は、23℃±2℃での保証値となります。
●お問い合わせ時には、使用環境をご指示ください。
カタログ(PDF)は、下記からダウンロード出来ます。
本カタログに示される製品仕様は、一例です。
お客様のご要望に合わせた仕様にて、承ります。
お問合せください。
